CS100 Kontroler przepływu masy i przepływomierzGlobalny dostawca

Strefa Rozwoju Ekonomicznego i Technologicznego w Pekinie, Wenchang Avenue, nr 8 (kod pocztowy: 100176)

Zalety

• Produkty CS100 są zaprojektowane na miarę klienta,
• Klienci mogą wybrać podwójne zasilanie ±15V lub +24 pojedyncze zasilanie w zależności od potrzeb;
• uszczelnienia metalowe lub gumowe;
• Rozmiary produktów są dostępne w przypadku produktów spełniających powszechne międzynarodowe normy SEMI lub produktów ściągających.

Parametry techniczne

CS100

Numer modelu

CS100A

CS100D

Rodzaj zaworu

Często zamknięte

Żaden

Często zamknięte

Żaden

Specyfikacja przepływu (N2)

(0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

(0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30) SLM

Dokładność

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)； ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)

Liniowy

±0.5% F.S.

Dokładność powtarzania

±0.2% F.S.

Czas odpowiedzi

≤ 1sec

Zakres ciśnienia roboczego

0.05～0.35MPa； Specyfikacja przepływu ≤10SLM
0.1～0.35MPa ； 10 <Specyfikacja przepływu ≤30SLM
0.25～0.45MPa ； 30 <Specyfikacja przepływu ≤50SLM

＜0.02 MPa

0.05～0.35MPa； Specyfikacja przepływu ≤10SLM
0.1～0.35MPa； 10 <Specyfikacja przepływu ≤30SLM

＜0.02 MPa

Współczynnik temperatury

Punkt zerowy: ≤ ± 0,05% FS / ℃; Regulacja: ≤ ± 0,1% FS / ℃

Odporność na ciśnienie

3MPa

10MPa

3MPa

10MPa

Wskaźnik wycikania

1×10^-9Pa·m³/ sec He（1×10^-8atm·cc / sec He）

Materiał uszczelniający

Guma fluorowa

Uszczelnienie metalowe

Maksymalne ciśnienie robocze

0.45MPa

Temperatura środowiska roboczego

（5～45）℃

Sygnał wejściowy

Symulacja:
(0～5)VDC

Numer: RS485

Żaden

Symulacja:
(0～5)VDC

Numer: RS485

Żaden

Sygnał wyjściowy

Symulacja:
(0～5)VDC

Numer: RS485

Simulacja: (0-5) VDC

Numer: RS485

Symulacja:
(0～5)VDC

Numer: RS485

Symulacja:
(0～5)VDC

Numer: RS485

Forma złącza zasilania