15 kwietnia 2016 roku firma Hitachi przedstawiła na całym świecie nowy mikroskop elektroniczny skanujący FlexSEM 1000. Produkt jest kompaktowy, zajmuje niewielką powierzchnię, ale rozdzielczość nie traci dużych elektroskopów, a jednocześnie jest niezwykle prosty w obsłudze i może być obsługiwany bez szkolenia. Kompaktowa konstrukcja o rozdzielczości 4 nm.
Mikroskop elektroniczny skanujący umożliwia obserwację powierzchni materiału z wysokim powiększeniem i wysoką dokładnością analizy pierwiastkowej i ma szerokie zastosowanie w dziedzinie nanotechnologii, nauk o życiu, projektowania i rozwoju produktów oraz analizy awarii. W ostatnich latach rosło zapotrzebowanie na mikroskopy skaningowe do obserwacji delikatnych struktur powierzchni i analizy pierwiastkowej, a coraz więcej użytkowników chce używać mikroskopu skaningowego w ograniczonych przestrzeniach, takich jak linia produkcyjna, linia kontroli jakości i przestrzeń biurowa. Dlatego mikroskop elektroniczny skanujący o niewielkiej wielkości, łatwej obsłudze i wysokiej rozdzielczości jest bardzo zainteresowany. Komputer FlexSEM 1000 o szerokości 450 mm i długości 640 mm jest o 52% mniejszy w porównaniu do modelu SU1510, o 45% mniejsza waga i o 50% mniejsze zużycie energii oraz jest wyposażony w standaryzowane interfejsy zasilania. Maszyna główna może być oddzielona od zasilania, dzięki czemu instalacja jest bardzo elastyczna.
FlexSEM 1000 jest wyposażony w nowoczesny system optyczny elektroniczny oraz niezawodny, czuły detektor o rozdzielczości do 4 nm. FlexSEM 1000 oferuje szeroką gamę funkcji automatyki, dzięki czemu łatwa obsługa pozwala szybko zrobić obrazy wysokiej jakości nawet dla operatora po raz pierwszy. Ponadto nowo opracowana funkcja nawigacji „SEM MAP” umożliwia nawigację za pomocą różnych zdjęć optycznych lub zdjęć z elektroskopem, szybko i precyzyjnie przełączając się do zainteresującego pola widzenia o wysokim powiększeniu jednym kliknięciem.

Cechy:

a. Przez wykrywacz podwójnej elektroniki o wysokiej wrażliwości, wykrywacz rozproszenia tylnego, wykrywacz niskiej próżni (UVD)^*2Osiągnięcie wysokiej jakości obserwacji obrazu przy niskim napięciu przyspieszenia / niskiej próżni

b. Łatwa obsługa, nawet początkujący może robić zdjęcia wysokiej jakości

Nowo opracowana funkcja nawigacji „SEM MAP” ułatwiająca szybkie zablokowanie horyzontu widzenia

Duże okno (30 mm)²System SDD umożliwia szybką analizę składu pierwiastkowego^*2

*1 Oddzielenie konsoli od zasilacza podczas ustawienia na pulpicie

*2 Opcjonalne

Projekt		Zawartość
Rozkład energii*3		4,0 nm @ 20 kV (SE: tryb wysokiej próżni) 15,0 nm @ 1 kV (SE: tryb wysokiej próżni) 5,0 nm @ 20 kV (BSE: tryb niskiej próżni)
Napięcie przyspieszone		0.3 kV ～ 20 kV
Powiększ		6 x do 300 000 x (powiększenie filmu) 16 × do 800 000 × Wyświetlacz powiększenia
Tryb niskiej próżni		Zakres próżni: 6-100 Pa
Broń elektroniczna		Pre-sparowanie średniego wolframu
Przykładowy stołek		3-osi automatyczny stoł silnikowy X：0 ～ 40 mm, Y：0 ～ 50 mm, Z：5 ～ 15 mm R：360°, T：-15° ～ ＋90°
Maksymalny rozmiar próbki		Średnica 80 mm
Maksymalna wysokość próbki		40 mm
Rozmiary		Maszyna: 450(W) x 640(D) x 670(H) mm Zasilanie: 450(W) x 640(D) x 450(H) mm
Wybór detektora		Wysoka czułość detektora podwójnego elektronu niskiej próżni (UVD) Detektory rentgenowskie rozproszone energią (EDS)