Numer modelu: ASR-VMS-6050
Przebieg osi X / Y stołu roboczego 600MM * 500MM
Przebieg osi Z Efektywna przestrzeń 235mm, przebieg fokusowania 250mm, odległość robocza 105mm
Rozmiary marmuru 650MM * 550MM
Rozmiary szklanej powierzchni 450 mm * 350 mm
Typ napędu Typ napędu: osi X / Y / Z importowane tajwańskie precyzyjne szyny liniowe i tajwańskie importowane śruby kulkowe
Rozdzielczość miary optycznej: osi X/Y/Z 0,0002MM (0,2UM)
Dokładność pomiaru: ≤2.5UM + L / 250 Dokładność powtarzania: ≤2.5UM + L / 250
Obliczenie ciepła w pomieszczeniu:
Utrzymanie systemu komputerowego w pomieszczeniu maszynowym w temperaturze i wilgotności, musi obliczyć całkowitą emisję ciepła w pomieszczeniu komputerowym, w tym sumę emisji ciepła maszyny w pomieszczeniu maszynowym (światło zwykłe oświetlenie może być niezliczone)
· Odciepłanie personelu: średnio 600BTY / godzina na osobę
· Sprzęt rozszerzony w przyszłości (niewielki)
· Pojemność ciepła w pomieszczeniu maszynowym: 50BTY / stopa kwadratowa