Mikro przepływomierz masy gazu XR-F001 został zaprojektowany specjalnie do pomiaru i kontroli procesu różnych rodzajów gazów o małym przepływie. Wszystkie czujniki tej serii są produkowane z wykorzystaniem zaawansowanych układów czujników przepływu mikroelektromechanicznego (MEMS), które nadają się do różnych rodzajów czystych gazów. Unikalna technologia pakowania umożliwia zastosowanie go do różnych średnic rur, niski koszt, łatwa instalacja, nie wymaga kompensacji ciśnienia temperatury i może zastąpić tradycyjne przepływomierze o objętości lub ciśnieniu różnicowym.