OTL-PECVD-1200-1400-1200 trystrefowy system PECVD, składający się z trzech pieców próżniowych, komory próżniowej kwarcowej, zasilania częstotliwości radiowej, systemu gazowania GX, systemu pompowania, systemu pomiaru próżni, elektrycznego mechanizmu ciągania.

Główne cechy:

1, za pomocą zasilania częstotliwości radiowej zamienić gaz w komorze próżniowej kwarcowej w stan jonowy.

PECVD ma niższą temperaturę niż zwykłe CVD do osadzania gazu chemicznego

3, częstotliwość zasilania częstotliwości radiowej może kontrolować wielkość napięcia osadzonej folii

PECVD ma wyższą szybkość osadzania gazu chemicznego niż zwykły CVD, dobrą jednorodność, spójność i wysoką stabilność.

5, szeroko stosowane w: rozwoju różnych filmów cienkich, takich jak: SiOx, SiNx, SiOxNy i krzemu amorofowego (a-Si: H) itp.

Ten trystrefowy system PECVD jest systemem PECVD, który może szybko ogrzewać i chłodzić, jest zainstalowany w trzech piecach rurowych z parą ścieżek elektrycznych. Prędkość ogrzewania i chłodzenia do 100°C/min. Aby uzyskać jak najszybsze ogrzewanie, można wstępnie ogrzać piec do ustalonej temperatury, a następnie przenieść piec do próbkiPołóż. Aby uzyskać jak najszybsze chłodzenie, piec można przenieść do drugiego końca po podgrzaniu próbki. Prędkość ogrzewania i chłodzenia może być osiągnięta w środowisku próżniowym lub gazowym10 ° C / s, system PECVD z podwójną strefą temperaturową do szybkiego ogrzewania i chłodzenia w niskich kosztach.

Ten trystrefowy system PECVD wykorzystuje szwedzki drut Kanthal i pręt węglowy krzemowy jako elementy grzewcze, przy użyciu dwuwarstwowej konstrukcji obudowy i 30-częściowego instrumentu kontroli temperatury, wyzwalacza przesuniętego fazy, kontrolowanego krzemu, pieca z japońskiego importowanego materiału polikryształowego włókna tlenku glinu, rury pieca z uszczelnieniem kołnierza ze stali nierdzewnej, kołnierza ze stali nierdzewnej z otworem powietrznym, zaworemCiśnieniomiernik, pompowanie próżni może osiągnąć 10-3 Pa, podzielony na dwie strefy temperatury, dwie strefy temperatury mogą być niezależnie kontrolowane, ustawić różne temperatury, łatwe w użyciu, proste w obsłudze, piec ma równowagę pola temperaturowego, niską temperaturę powierzchniową, szybką temperaturę chłodzenia, oszczędność energii i inne zalety, to uniwersytety, instytuty naukowe, przedsiębiorstwa górnicze, aby spalić atmosferę wysokiej temperatury Idealny produkt do węzłów, wzrostu grafenu, wzrostu różnych filmów.

(1), grubość gorącego końca pręta węglowego krzemu d wynosi 14 mm, ogólny producent używa 12 mm, grubość końca ogrzewania, łatwe do zginania, niskie obciążenie powierzchniowe pręta, długa żywotność.

（2), m długość zimnego końca wynosi 210 mm, ogólny producent stosuje 180 mm, niska temperatura góry zimnego końca.

(3) Powierzchnia pręta węglowego krzemu jest gęsta, może lepiej chronić pręt węglowy.

W przypadku przepływu lub wycieku obwod jest automatycznie odłączony

Piec rurowy atmosferycznyMożeszWyposażony w interfejs komunikacyjny i oprogramowanie, można sterować różnymi parametrami pieca bezpośrednio za pośrednictwem komputera i obserwować z komputera wartości temperatury PV i SV na piecu oraz funkcjonowanie przyrządu, faktyczna krzywa ogrzewania pieca zostanie narysowana w czasie rzeczywistym i może zapisać dane o temperaturze w każdej chwili.

(1), wysokiej jakości wysokiej czystości polikrystalicznego włókna tlenku aluminium do formowania próżniowego.
2) zastosowanie japońskiej technologii.
(3), niska pojemność cieplna materiału pieca, niski współczynnik przewodności ciepła, a tym samym niewielkie chłodzenie ciepła, dobra izolacja, wysoka odsłona. Równowaga temperaturowa.
(4), piec tlenek glinu drobny i długi, odporny na wysokie temperatury, odporny na wzrost ciepła, silna zdolność do schłodzenia
(5) Powierzchnia pieca jest czysta i nie jest łatwa do spalania proszku.

(wszystkie urządzenia elektryczne certyfikowane przez UL)