System OTL-PECVD-1200 PECVD składa się z pieca rurowego próżniowego OTL1200, komory próżniowej kwarcowej, zasilania częstotliwości radiowej, systemu gazowania GX, systemu pompowania, systemu pomiaru próżni.

Główne cechy:

1, za pomocą zasilania częstotliwości radiowej zamienić gaz w komorze próżniowej kwarcowej w stan jonowy.

PECVD ma niższą temperaturę niż zwykły CVD do osadzania gazu chemicznego.

3, można kontrolować wielkość napięcia osadzonej folii za pomocą częstotliwości zasilania częstotliwości radiowej.

PECVD ma wyższą szybkość osadzania gazu chemicznego niż zwykły CVD, dobrą jednorodność, spójność i wysoką stabilność.

5, szeroko stosowane w: rozwoju różnych filmów cienkich, takich jak: SiOx, SiNx, SiOxNy i krzemu amorofowego (a-Si: H) itp.

System OTL-PECVD-1200 PECVD wykorzystuje szwedzki drut Kanthal jako elementy grzewcze, wykorzystuje dwuwarstwową strukturę obudowy i 30-częściowy program temperaturomierza, wyzwalnik przesunięty, kontrola krzemu, piec z materiału polikrystalicznego włókna tlenku aluminium, dwa końce rury pieca mogą być uszczelnione na kołnierzach ze stali nierdzewnej, na kołnierzach ze stali nierdzewnej zainstalowane są dyszy powietrzne, zawory i ciśnieniomierze, próżnia podczas pompowania może osiągnąć 10-3 Pa, ma równowagę pola temperaturowego, niską temperaturę powierzchni, szybką temperaturę podnoszenia, oszczędność energii, korzystne ceny i inne zalety.

(3), równowaga oporu, dobra równowaga pola temperaturowego

(4), elementy grzewcze: Kanthal A1 importowany drut oporny (drut oporny może być objęty gwarancją 2 lata)

W przypadku przepływu lub wycieku obwod jest automatycznie odłączony

Piec jest wyposażony w interfejs komunikacyjny i oprogramowanie, może kontrolować różne parametry pieca bezpośrednio za pośrednictwem komputera i może obserwować z komputera wartości temperatury PV i SV na piecu i funkcjonowanie przyrządu, rzeczywista krzywa ogrzewania pieca zostanie narysowana w czasie rzeczywistym i może zapisać dane o temperaturze w każdej chwili, w dowolnym momencie można dostosować próżnię.

2) zastosowanie japońskiej technologii.

(3) Odległość i odległość drutu opornego w piecu są ustawione zgodnie z najlepszą japońską technologią termotechniki, po oprogramowaniu termotechniki symulującej pole temperaturowe

(4) 4 tygodnie ogrzewania, bardziej zrównoważona temperatura

(wszystkie urządzenia elektryczne certyfikowane przez UL)