Mikroskop siły atomowej Park Systems XE-15

Informacje o urządzeniu:

Park XE-15 ma pełną zgodność z próbkami. Jego różnorodna konstrukcja stołu próbek zapewnia wygodne i niezawodne środowisko testowe dla różnych rozmiarów, kształtów i ilości próbek. Odłączony skaner zamkniętego obwodu XY eliminuje błąd efektu zginania, zapewniając liniowość. Prawdziwy tryb skanowania bez kontaktu rozszerza odpowiedni rodzaj próbki, a jednocześnie znacznie wydłuża żywotność sondy i obniża koszty użytkowania.

Parametry techniczne mikroskopu siły atomowej Park Systems XE-15:

Skaner

Skaner XY

Elastyczny skaner modułowy sterowania zamkniętym obwodem

Zakres skanowania 100 μm * 100 μm (opcjonalnie 50 μm * 50 μm)

Opuszczenie płaszczyzny: <2 nm (skanowanie 40 μm * 40 μm)

Skaner Z

Elastyczne sterowanie silnym skanerem

Zakres skanowania 12 μm (opcjonalnie 25 μm)

Częstotliwość rezonansu: > 5 kHz

Hałas obrazowania powierzchni: 0,03 nm

Przykładowy stołek

Rodzaj stołu do próbek: stoł do próbek 16-bitowy / stoł do adsorpcji próżniowej o średnicy 150 mm (opcjonalny stoł do adsorpcji próżniowej o średnicy 200 mm)

Rozmiar próbki: 150 mm * 150 mm * 20 mm

Waga próbki: 500g

Zakres ruchu stołu próbki: 150 mm * 150 mm (opcjonalnie 200 mm * 200 mm)

Główne cechy:

Innowacyjny projekt wieloponktowego stołu próbek zapewniający wydajność pracy

• Możliwość skanowania 16 próbek za jedną operację

Łatwe umieszczanie próbek i szybkie skanowanie

Znacznie poprawia dokładność i powtarzalność danych

Wsparcie dla bardzo dużych próbek, aby zaspokoić potrzeby rozwoju przemysłu

● Zui wspiera duże płytki 200 mm, aby zaspokoić obecne i przyszłe potrzeby użytkowników

• Specjalne zaprojektowanie spełniające rzeczywiste potrzeby użytkowników związanych z półprzewodnikami

Bogaty wybór trybu funkcjonalnego

• Wsparcie dla różnych funkcji SPM

• Obsługa wielu opcjonalnych trybów pomiaru

● Obsługa różnych akcesoriów opcjonalnych, rozszerzenie wydajności