Członek VIP
Urządzenie do przechwytywania gazu z chipem krzemowym
Urządzenie do przechwytywania gazu z chipem krzemowym
Szczegóły produktu
Prezentacja produktu
Używany do przechwytywania składników lotnych (zanieczyszczeń organicznych) na powierzchniach 8-calowych i 6-calowych układów krzemowych. (SW-8400)
Używany do przechwytywania lotnych składników (zanieczyszczeń organicznych) na powierzchni 12-calowych układów krzemowych. (SW-12400)
Uchwytywanie jednostronnych gazów lotnych z układem krzemowym, łatwa obsługa.
· Piec grzewczy stosuje metodę zawieszenia odwrotnego, aby pobrać próbki tylko gazu wytwarzanego z frontu układu.
Używany do przechwytywania lotnych składników (zanieczyszczeń organicznych) na powierzchni 12-calowych układów krzemowych. (SW-12400)
Uchwytywanie jednostronnych gazów lotnych z układem krzemowym, łatwa obsługa.
· Piec grzewczy stosuje metodę zawieszenia odwrotnego, aby pobrać próbki tylko gazu wytwarzanego z frontu układu.
Piec grzewczy może być ogrzewany do 500 ° C.
Uszczelnienie pieca grzewczego jest uszczelnione pierścieniem O (materiał poliamidowy), bez wycieku.
Zazwyczaj wykorzystuje się PAT (objętość 10 ml, wypełnienie 2,5 g Tenax GR) do przechwytywania gazu. Można również wybrać odpowiednią rurkę do pobierania próbek innych producentów.
Uszczelnienie pieca grzewczego jest uszczelnione pierścieniem O (materiał poliamidowy), bez wycieku.
Zazwyczaj wykorzystuje się PAT (objętość 10 ml, wypełnienie 2,5 g Tenax GR) do przechwytywania gazu. Można również wybrać odpowiednią rurkę do pobierania próbek innych producentów.
Wyposażenie w urządzenie do obiegu wody chłodzącej.
· Wyposażone w urządzenia zabezpieczające przed przegrzewaniem, urządzenia zabezpieczające interlock, przycisk zatrzymania awaryjnego, czujnik wycieku wody (opcjonalnie).
· Wyposażone w urządzenia zabezpieczające przed przegrzewaniem, urządzenia zabezpieczające interlock, przycisk zatrzymania awaryjnego, czujnik wycieku wody (opcjonalnie).
Parametry techniczne
|
Sposób
|
Sposób odwrócenia
|
|
Rozmiar chipu krzemowego przechwytywania
|
8" lub 6", do 5" konieczne jest dodanie pierścienia rozszerzającego (typ 12400, 12")
|
|
Pierścień o
|
Średnica uszczelnienia 220 mm (poliamida)
|
|
Piec grzewczy kwarcowy
|
Przezroczysty kwarcowy materiał
|
|
Sposób ogrzewania pieca grzewczego
|
Samodzielne ogrzewanie płyt górnych i podłogowych
|
|
Temperatura użytkowania pieca grzewczego
|
Powszechnie stosowane 400 ° C (do 500 ° C)
|
|
Chłodzenie pieca grzewczego
|
Urządzenie do obiegu wody chłodzącej
|
|
Rury izolacyjne
|
Powłoka inertyzacyjna powierzchni wewnętrznej
|
|
Odmycie gazu
|
Zwykle z azotem, maksymalny przepływ 500ml / min
|
|
Urządzenie przeciwprzegrzewające
|
Prąd 15A, prąd indukcyjny 30mA
|
|
Przycisk zatrzymania awaryjnego
|
Czerwony, grzybowy
|
|
Urządzenia bezpieczeństwa
|
Struktura interlock
|
|
Sposób ciśnienia
|
Napęd silnikowy
|
|
Rozmiary urządzenia
|
1140(W)×1106(H)×750(D)mm
|
|
Waga
|
280Kg
|
|
Zasilanie
|
Jednofazowe AC200V, 15A, AC100V, 20A
|
|
Załączniki standardowe:
|
|
|
PAT (rurka adsorpcyjna pierwszego stopnia):
|
2 sztuki (nie kompatybilne z innymi firmami)
|
|
Podstawa PAT
|
1 (nie jest kompatybilny z innymi firmami)
|
|
Adapter PAT
|
1 (do użytku z innymi firmami)
|
|
Pierścień o
|
Dwa.
|
|
Urządzenie do obiegu wody chłodzącej
|
1 zestaw (z standardową rurką)
|
|
Rury izolacyjne
|
1 sztuk
|
|
Dostawy gazu
|
1 zestaw (1/16 "-1/8")
|
|
Kabel
|
1 zestaw
|
|
Narzędzie
|
1 zestaw
|
|
Instrukcja obsługi
|
Księga 1
|
* Proszę zapytać o specyfikacje techniczne modelu SW-12400.
Zapytanie online
-
Kontakty
-
Firma
-
Telefon
-
E-mail
-
WeChat
-
Kod weryfikacji
-
Zawartość wiadomości
-